Ngày 16/12/2016, Trung tâm nghiên cứu triển khai (gọi tắt trung tâm R&D) cùng với tổ chức SORIST-Nhật bản đã bế giảng khóa đào tạo thiết kế và chế tạo linh kiện MEMS và công bố sản phẩm mẫu cảm biến áp suất kiểu áp trở.
Ban quản lý Khu Công nghệ Cao TP.HCM cũng đã mời GS Susumu Sugiyama tiếp tục làm việc tại Trung tâm Nghiên cứu Triển khai Khu CNC với vai trò là Giám đốc Khoa học.
Khóa đào tạo MEMS được triển khai trong 5 tháng từ 8-12/2016 tại phòng thí nghiệm bán dẫn thuộc Trung tâm R&D-Khu công nghệ cao TP.HCM với sự hướng dẫn của Giáo sư Susumu Sugiyama (Tổ chức SORIST– Nhật Bản) bằng hình thức giải mã công nghệ chế tạo cảm biến áp suất kiểu áp trở dựa trên nền vật liệu wafer Si 4 inch và đóng gói ra sản phẩm cuối cùng với thông số của cảm biến áp suất kiểu áp trở đạt được sau khi chế tạo như sau: 2,52,5 mm, kích thước màng 1,21,2 mm, chiều dày màng 15m, R là 1000 Ohm…
Trong khoá đào tạo này, các kỹ sư đã trải qua toàn bộ các khâu trong một quy trình khép kín từ khâu thiết kế linh kiện cảm biến áp suất kiểu áp trở đến các công đoạn quang khắc đến các công đoạn chính như khuếch tán, tạo điện cực kim loại…đo kiểm, khảo sát các thông số đều thực hiện tại phòng sạch Trung tâm R&D Khu CNC. Ngoài ra, cũng phải nhấn mạnh việc đóng gói sản phẩm (packaging) và tích hợp sản phẩm vào một ứng dụng cụ thể là hệ thống đo mực nước, là một bước tiến lớn trong việc tiếp cận công nghệ đóng gói cảm biến từ các chuyên gia Nhật bản truyền đạt.
Kết quả khóa đào tạo này, ngoài việc các học viên đã nắm bắt được công nghệ chế tạo cảm biến áp suất kiểu áp trở bằng công nghệ MEMS, nâng cao trình độ chuyên môn cho các kỹ sư của chính Trung tâm R&D Khu CNC và các trường đại học, còn hướng đến tạo ra các sản phẩm cảm biến áp suất kiểu áp trở dạng thương mại dự kiến sẽ cho ra đời vào năm 2017 nhằm ứng dụng vào nhiều lĩnh vực khác nhau trong đời sống như kiểm soát triều cường phục vụ công tác chống ngập hay các ứng dụng kết nối IoT…
Khoá huấn luyện này được tổ chức cho 12 học viên là các cán bộ kỹ thuật, giảng viên đến từ Trung tâm Nghiên cứu Triển khai Khu Công nghệ Cao, Đại học Sư phạm kỹ thuật, học viện kỹ thuật Mật Mã-Ban Cơ Yếu Chính phủ. Khoá đào tạo này là một thành phần trong “Đề án tổng thể phát triển vi cơ điện tử (MEMS)” do Ban quản lý Khu công nghệ cao TP.HCM chủ trì, thuộc các chương trình, dự án nhánh và một số nội dung của Chương trình Phát triển Công nghiệp vi mạch TP.HCM giai đoạn 2013-2020.
